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                成都四洋科技有限公司官方網站

                磁懸浮復合分子泵

                Osaka復合分子泵使用磁懸浮軸承實現無油的排氣,而且維護周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產品。

                特點

                全方位安裝
                輕巧設計
                節能
                分子泵停止與啟動時間短
                附帶維護警報機能
                低振動
                無需調整
                自動校準
                可控制轉子旋轉速度
                大流量排氣
                多種通信模式
                符合安全規格 NRTL/SEMI-S2/CE

                應用

                半導體制造

                電子槍排氣,離子源排氣

                FPD制造

                表面處理,表面改質

                各種電子部件的制造

                分析,試驗裝置

                管球制造,光學部件制造

                加速器,放射線設施,核聚變研究

                熱處理

                研究開發

                技術規格

                型號

                TG390M

                TG420M

                TG900M

                TG1300M

                TG2400M

                法蘭

                吸氣口ISO-R/CF

                100

                160

                160

                200

                250

                排氣口

                KF25

                KF25

                KF40

                KF40

                KF40

                排氣速度

                N2(附加金屬過濾網)

                320L/s

                370L/s

                860L/s

                1230L/s

                2300L/s

                H2

                290L/s

                300L/s

                1050L/s

                1200L/s

                1100L/s

                最大壓縮比

                N2

                1×108

                1×108

                1×108

                1×108

                1×108

                H2

                4.3×103

                4.5×103

                1.5×104

                1.5×104

                1.5×103

                極限壓力

                ISO-R/CF

                <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

                <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

                <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

                <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

                <1×10-6Pa

                最大氣體流量

                N2(sccm)

                2000

                2000

                3000

                3000

                3000

                推薦輔助泵

                ≥160L/min

                ≥160L/min

                ≥250L/min

                ≥250L/min

                ≥500L/min

                容許輔助壓力

                400Pa

                400Pa

                500Pa

                500Pa

                200Pa

                重量Kg

                ISO-R/CF

                14/17

                14/17

                34/42

                34/42

                45/54

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