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                成都四洋科技有限公司官方網站

                渦輪分子泵

                Osaka渦輪分子泵使用了脂潤滑陶瓷軸承,實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動,耐沖擊能力強,可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部,拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產品。

                特點

                無油的超真空環境

                機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同

                可排稀有氣體和腐蝕性氣體

                可連續排大流量氣體

                可工作的壓力范圍寬。(~10-10Pa)

                應用

                半導體制造

                電子槍排氣,離子源排氣

                FPD制造

                表面處理,表面改質

                各種電子部件的制造

                分析,試驗裝置

                管球制造,光學部件制造

                加速器,放射線設施,核聚變研究

                熱處理

                研究開發

                技術規格

                型號

                TG50F

                TG60F

                TG70F

                TG220F

                TG240F

                TG350F

                TG450F

                TG800F

                TG1100F

                TG1400F

                TG2400

                法蘭

                吸氣口ISO-R/CF

                63

                KF40/63

                63

                100

                100

                100

                160

                160

                200

                200

                250

                排氣口

                KF16

                KF16

                KF16

                KF25

                KF25

                KF25

                KF25

                KF40

                KF40

                KF40

                KF40

                排氣速度

                N2(附加金屬過濾網)

                49L/s

                55L/s

                65L/s

                210L/s

                240L/s

                310L/s

                430L/s

                750L/s

                1000L/s

                1300L/s

                2300L/s

                H2

                12L/s

                22L/s

                40L/s

                100L/s

                160L/s

                210L/s

                240L/s

                650L/s

                720L/s

                750L/s

                1100L/s

                最大壓縮比

                N2

                1.4×107

                2×107

                1×108

                1×108

                1×108

                1×108

                1×108

                1×108

                1×108

                1×108

                1×108

                H2

                5×102

                2×103

                1×105

                4×102

                4×104

                2×103

                2×103

                1×104

                1×104

                4.3×103

                1.4×103

                極限壓力

                ISO-R/CF

                <3×10-6Pa

                <5×10-6Pa/<1×10-6Pa

                <5×10-7Pa/<1×10-7Pa

                <1×10-6Pa

                <1×10-6Pa/<5×10-7Pa

                <1×10-6Pa

                <1×10-6Pa

                <1×10-6Pa

                <1×10-6Pa

                <1×10-6Pa

                <1×10-6Pa

                最大氣體流量

                N2(sccm)

                80

                20

                20

                400

                70

                500

                500

                330/860

                330/860

                450

                900/1500

                推薦輔助泵

                ≥50L/min

                ≥25L/min

                ≥25L/min

                ≥80L/min

                ≥80L/min

                ≥80L/min

                ≥80L/min

                ≥250L/min

                ≥250L/min

                ≥250L/min

                ≥500L/min

                容許輔助壓力

                1330Pa

                800Pa

                1200Pa

                260Pa

                700Pa

                260Pa

                260Pa

                330Pa

                330Pa

                330Pa

                200Pa

                重量Kg

                ISO-R/CF

                4.2/6

                3.4/5.4

                3/5

                5.5/8

                7.3/10.5

                6/9

                7/10

                27/26

                28/27

                29/30

                45/47

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