PRA、WRA殘余氣體分析儀
PRA、WRA殘余氣體分析儀
Edwards RGA包括兩種類型: PRA和WRA,都具有簡單和高效的操作性,確保高性能和效率。
Edwards PRA提供了高性能分析和遠程監控模式。PRA有四種分類可供選擇,以滿足您的過程需求,無論只是需要一個基本RGA還是更敏感/范圍更廣的RGA,PRA系列都是分析過程的基本選擇。
Edwards WRA 是RGA的頂級產品,具有市場領先的設計與專利。有兩種型號1-200或1-300 amu,可以測量工藝流程的各種氣體以及產生的副產品。與PRA相比,具有更高的靈敏度,從而使測量更精確。
所有的RGA都配備了專用的,易于使用的軟件,從筆記本電腦就可實時跟蹤工藝過程,多達16個不同單位的詳細分析。RGA本體上有一個面板顯示,可以顯示主要氣體類型和系統的整體壓力,而不必通過筆記本電腦連接或遠程通訊讀取。
特點
總壓力測量
雙燈絲
面板單元顯示
易于更換零件
除氣功能
離子源和EM多重保護
應用
PRA
高真空抽真空設備的殘余氣體分析
研發過程中的氣體分析
冷凍干燥中的氣體分析
PV/FPD/Semi氣體分析
WRA
UHV設備的殘余氣體分析
有機材料分析
環境分析
氣體雜質
技術規格
型號 | PRA100 | PRA100S | PRA200 | PRA200S | WRA200S | WRA300S |
質量數范圍 | 1-100amu | 1-200amu | 1-300amu | |||
質譜儀類型 | QMS | |||||
探測器類型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC/EM | FC/EM |
靈敏度A/mbar | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 400/2.5x10-4 | |
最小可測分壓(mbar) | 1x10-10 | 1x10-14/1x10-10 | 1x10-10 | 1x10-14/1x10-10 | 1x10-15/1x10-11 | |
最高工作壓力(mbar) | 1x10-4 | |||||
燈絲材質 | Ir/Y2O3 | |||||
工作溫度 | 40℃ | |||||
最大分析溫度 | 120℃ | 250℃ | ||||
最大烘烤溫度(移除電子) | 250℃ | 300℃ | ||||
連接法蘭 | DN40CF | |||||
輸入電源 | DC24V ±10% 50W | |||||
重量 | 2.6 | 2.84 | 2.6 | 2.84 | 3.21 | 3.21 |
防護等級 | IP30 | |||||
串口通信 | RS232C/RS485 | |||||
分辨率 | M/DeltaM=1M(10%PH) |