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                成都四洋科技有限公司官方網站

                PRA、WRA殘余氣體分析儀

                Edwards  RGA包括兩種類型: PRA和WRA,都具有簡單和高效的操作性,確保高性能和效率。

                Edwards PRA提供了高性能分析和遠程監控模式。PRA有四種分類可供選擇,以滿足您的過程需求,無論只是需要一個基本RGA還是更敏感/范圍更廣的RGA,PRA系列都是分析過程的基本選擇。

                Edwards WRA 是RGA的頂級產品,具有市場領先的設計與專利。有兩種型號1-200或1-300 amu,可以測量工藝流程的各種氣體以及產生的副產品。與PRA相比,具有更高的靈敏度,從而使測量更精確。

                所有的RGA都配備了專用的,易于使用的軟件,從筆記本電腦就可實時跟蹤工藝過程,多達16個不同單位的詳細分析。RGA本體上有一個面板顯示,可以顯示主要氣體類型和系統的整體壓力,而不必通過筆記本電腦連接或遠程通訊讀取。

                特點

                總壓力測量

                雙燈絲

                面板單元顯示

                易于更換零件

                除氣功能

                離子源和EM多重保護

                應用

                PRA

                高真空抽真空設備的殘余氣體分析

                研發過程中的氣體分析

                冷凍干燥中的氣體分析

                PV/FPD/Semi氣體分析

                WRA

                UHV設備的殘余氣體分析

                有機材料分析

                環境分析

                氣體雜質

                技術規格

                型號

                PRA100

                PRA100S

                PRA200

                PRA200S

                WRA200S

                WRA300S

                質量數范圍

                1-100amu

                1-200amu

                1-300amu

                質譜儀類型

                QMS

                探測器類型

                FC

                FC/EM

                FC

                FC/EM

                FC/EM

                FC/EM

                靈敏度A/mbar

                1x10-5

                400/1x10-5

                1x10-5

                400/1x10-5

                400/2.5x10-4

                最小可測分壓(mbar)

                1x10-10

                1x10-14/1x10-10

                1x10-10

                1x10-14/1x10-10

                1x10-15/1x10-11

                最高工作壓力(mbar)

                1x10-4

                燈絲材質

                Ir/Y2O3

                工作溫度

                40℃

                最大分析溫度

                120℃

                250℃

                最大烘烤溫度(移除電子)

                250℃

                300℃

                連接法蘭

                DN40CF

                輸入電源

                DC24V ±10% 50W

                重量

                2.6

                2.84

                2.6

                2.84

                3.21

                3.21

                防護等級

                IP30

                串口通信

                RS232C/RS485

                分辨率

                M/DeltaM=1M(10%PH)

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