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                潘寧真空計

                INFICON 潘寧真空計 PEG100 可以提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現絲極燒毀的現象。由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低,潘寧真空計還可在濺射應用環境下運行。現場總線選件以及對數模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協議,將真空計輕松集成到真空系統中。

                特點

                測量范圍可達 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)

                全金屬冷陰極傳感器(潘寧)帶有陶瓷饋入裝置

                新創的電極幾何形狀提供卓越的點火屬性

                等離子點火后高壓降低以及采用鈦陰極板,降低了污染風險,即使是使用氬氣進行濺射操作期間

                陽極環和鈦陰極可以輕松進行清潔或更換

                降低真空計附近的磁場強度

                LED 指示器用于顯示電源及等離子點火狀態

                對數模擬輸出信號

                現場總線接口(Profibus DB、DeviceNet)允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中

                應用

                高真空壓力監控

                蒸發鍍濺系統

                高真空范圍內的一般真空測量和控制

                技術規格

                型號
                PEG100
                測量范圍
                1 × 10E-9至10E-2 mabr
                精度(N2)

                ≈±30%讀數
                重復性
                ≈±5%讀數
                輸出信號

                0 至 +10.6VDC
                電源電壓
                功率
                +14.5至+36Vdc
                ≤2 W
                電氣連接件
                FCC 8腳
                工作溫度
                +10至+50℃
                安裝方位任何
                防護等級IP40

                *總線通訊技術規格請咨詢客服

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