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                冷陰極皮拉尼復合真空計

                INFICON反磁控管皮拉尼復合真空計,MPG400 和 MPG401,測量范圍為 5 x 10-9 mbar 至大氣壓力(3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓力)。將多項技術融入帶有一個對數模擬輸出信號的單個緊湊型裝置中,顯著降低了安裝、設置和集成的復雜性。

                特點

                復合真空計 – 冷陰極和皮拉尼

                5 X 10-9 mbar 至大氣壓的極寬測量范圍

                倒磁控管沒有燈絲,不會出現絲極燒毀的現象

                卓越的點火屬性

                易清洗

                FPM 或金屬密封饋入裝置

                LED 指示器,高壓時亮起

                對數模擬輸出信號

                應用

                高真空壓力測量

                蒸發與濺射鍍膜系統

                全真空范圍內的一般真空測量和控制

                技術規格

                型號
                密封
                MPG400
                FPM密封
                MPG401
                金屬密封
                測量范圍
                5 × 10E-9至1000 mabr
                精度(N2) 10E-8至100 mbar

                ≈±30%讀數
                重復性
                ≈±5%讀數
                輸出信號(電壓)

                0至+10.5V

                電源電壓
                功率
                +15至+30Vdc
                ≤2 W
                電氣連接件

                FCC 68/RJ45網口,8腳屏蔽
                工作溫度
                +5至+55℃
                安裝方位任何
                防護等級IP40

                訂購資料

                型號
                密封
                MPG400
                FPM密封
                MPG401
                金屬密封
                KF25351-010351-020
                KF40351-011351-021
                CF40351-012351-022
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