<form id="hxfnp"></form>

        <address id="hxfnp"></address>

                成都四洋科技有限公司官方網站

                壓力控制系統

                APC200與GPC3000壓流控制器基本上是為電容壓力計提供一個電源(±15VDC),與之相應的壓力信號連接顯示器,同時使用PID排氣節流閥節流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統,其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數感知壓力控制系數。使用此功能作壓力控制時,可以更快地達到所需的壓力。內置2個過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。

                特點

                至多可以連接4個MFC的PCB卡,每張PCB由2通道(2個MFC)組成。

                標準的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠程(RS-485選項),實現所有遠程控制都是可能的。

                技術規格

                閥門操作

                ATV1000排氣節流閥,MKS型653和253排氣節流閥及其他

                壓力輸入信號

                標準0-10Vdc

                輸入功率要求

                90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz

                設置點

                可編程的

                外部模擬

                總共5個,可在任何組合中編程,用于壓力或閥位置

                (可從前面板調節或從前面板旋轉RS232設定、TTL或RS232)

                0-10VDC

                控制器重復性

                ±0.1% F.S

                環境運行溫度

                15℃ - 45℃

                輸出功率

                ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp

                模擬量輸出信號

                0 - 10vdc用于0-100%閥門位置,0 - 10vdc用于1-100%滿量程壓力

                尺寸

                1/2機架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高

                顯示

                LCD(壓力、位置和外部設定點讀數)

                顯示單位

                Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標準

                PID控制

                標準

                遠程零點

                標準

                接口

                前面板設置,模擬,TTL和RS232,(RS-485選項)

                繼電器輸出

                2個過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻

                遠程控制

                (打開、關閉、保持)

                標準

                位置控制能力

                標準

                ATV1000排氣節流閥

                ATV1000是用來調節真空腔體壓力的,可以控制大范圍的壓力。ATV1000是設計與GPC3000兼容使用的。

                ATV1000-B在閥內安裝了調節電導的板,和百葉窗形態一樣,與其他閥不同的排期節流閥,即使板是90度開啟,也不干涉腔體其他的部件,板可以自由動作。為了空間的一些適配管道與法蘭,都沒有必要安裝,整體上節省了真空裝備的體積和價格,并開發了大型尺寸的閥門。

                特點

                使用高速電機、大大縮短了位置點抵達的時間,提高設備的吞吐量而設計的。

                ATV1000可以與GPC3000控制器連接使用,其他公司產品的控制器也可以連接使用(如MKS)

                “節流閥”將擋板的位置在用戶外部也可以確認,即便閥的動作是否在裝備中脫離,可以確認。

                “節流閥”法蘭通常使用ISO-NW,但根據顧客的要求,也可以提供CF,ASA,JIS等法蘭。

                ATV1000-B優勢

                                                        ATV1000-B閥門式樣


                技術規格

                閥門速度(開閉)

                1.5sec

                分辨率

                1/24000

                驅動方式

                PID單獨傳動

                閥體最高工作溫度

                標準:0-100℃

                可選:0-150℃

                閥工作環境溫度

                -20℃至40℃

                閥的壓差

                1atm(15psi)-最大

                泄漏率

                1x10-8sec/sec He

                暴露在工藝中的材料

                標準:304,Viton(密封材料可選)

                可選:316,Viton(密封材料可選,具體聯系工程師)

                兼容的控制器

                GPC3000,MKS 651 or 1651

                控制器輸出轉矩

                800 in-oz

                關閉-泄漏率

                (帶有O型圈的閥門)

                <10-7(Torr l/s)>

                ACM200電容薄膜真空計

                ACM200 電容薄膜壓力計,通常安裝在真空腔體或管道上,讀取實時壓力,±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的,廣泛用于半導體工程和真空工業設備。

                特點

                直接測量方式測量壓力

                無關氣體組分影響

                可應用于腐蝕性氣體環境,適合于各類制程應用

                可搭配Atovac儀表,實時顯示

                測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr,覆蓋大多數制程壓力范圍

                技術規格

                壓力范圍(滿量程)

                1、2、10、100、1000

                最低壓力

                0.01%滿量程

                精度

                ±0.25%讀數

                可選:±0.15%讀數

                溫度效應

                零點

                跨度


                0.002% 滿量程/°C

                0.02% 讀數/°C

                工作環境溫度

                0℃至50℃

                暴露于氣體中的材料

                鉻鎳鐵合金

                泄漏率

                1x10-8sec/sec He

                最大壓力

                310Kpa

                電源要求

                ±15VDC (±5%) @ 35 mA

                輸出信號

                0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load

                法蘭

                8 VCR, NW16KF

                質量流量控制器

                MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體,用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。

                特點

                設計用于半導體制程和工業使用

                滿量程流量從5sccm至200slm

                1%滿量程的精度

                可搭配GMC1200儀表顯示,也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統

                技術規格

                流量范圍(滿量程)

                AFC500/AFC600:5sccm至50slm

                AFC770:51至200slm

                最大進氣壓力

                150psig

                正常工作壓差(與在大氣壓,MFC出口)

                10至5000sccm

                10000至20000sccm

                AFC770


                10至40 psid

                15至40psid

                40至70psid

                精度(模擬量)

                (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性)

                ±1%滿量程

                重復性

                ±0.2%滿量程

                分辨率

                1%滿量程

                溫度系數

                零點

                跨度

                <0.05 % 滿量程./°C

                <0.05 % 滿量程.

                預熱時間(達到穩態性能的0.2%以內)

                <2分鐘

                控制器調節時間

                <2sec

                壓力系數

                <0.02 % of Rdg./psi

                工作溫度范圍

                0-50℃

                電源

                ±15 VDC (±5%)

                設定值命令信號

                0-5Vdc

                輸出信號

                0-5Vdc

                法蘭

                VCR, LOK

                接口

                9針D-sub

                材料

                316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

                外部泄漏完整性(scc/sec He)

                通過關閉閥門

                < 1×10(-9)

                <1.0%的F.S.,在40 psig的大氣入口(為確保無流量通過,建議使用單獨的正壓切斷閥。)

                壓強控制系統示意圖


                版權所有? 成都四洋科技有限公司官方網站    蜀ICP備14007155號    技術支持: 竹子建站
                亚洲日韩视频高清在线观看