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                成都四洋科技有限公司官方網站

                ELD500氦質譜檢漏儀

                Edwards新型ELD500全自動氦質譜檢漏儀已經上市。是為在廣泛的應用中快速、準確地檢測泄漏而設計的,并且是完全可移動的;易于使用的控制界面。EdwardsELD500是您在泄漏檢測方面的明智選擇。

                特點

                性價比高

                移動解決方案

                可定制的任何應用程序

                高穩定性和準確性

                應用

                分析儀器:電子顯微鏡、泄漏檢測、質譜、表面分析

                半導體:負載鎖定、過程、計量、光刻技術、PVD、等離子體刻蝕、CVD、平板顯示器、LED

                研究和開發:空間模擬、低溫研究、納米技術、涂層系統

                工業:工業泄漏檢測、電子束焊接、燈管制造、玻璃涂料、剎車線和空調、制冷系統制造商、熱處理、電源、真空爐

                高能物理:束線、加速器、融合、激光疏散

                技術規格

                類型

                WET

                DRY

                FLEX

                可檢測的氦泄漏率mbar.L/s

                真空操作

                ≤ 5 x 10-12

                ≤ 3 x 10-11

                ≤ 5 x 10-12(配泵)

                吸槍操作

                ≤ 7x10-9

                最大可測氦泄漏率
                mbar.L/s
                (真空操作)

                >0.1

                檢測范圍

                12個數量級

                最大允許進口壓力

                15mbar

                泵送速度50hz / 60hz

                2.5/3 m3/h

                1.6/1.8 m3/h

                N/A

                在精細模式下的氦抽運速度

                3.1L/s

                泄漏率信號的時間常數

                <1s

                啟動時間

                ≤2min

                功率

                420VA

                350VA

                200VA

                入口法蘭

                NW25

                尺寸mm

                495x456x314

                重量

                40Kg

                35.5Kg

                30Kg

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