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                成都四洋科技有限公司官方網站

                機械增壓泵

                EH250

                EH500

                EH1200

                EH2600

                EH4200

                Edwards EH 機械增壓泵采用獨特的液力驅動,可實現高效的動力傳送,在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,從而減少總體抽氣時間。

                EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是非常受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

                機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

                特點

                適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3/h的高抽速的應用場合。

                它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

                EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

                安靜的無振動運行。

                牢靠且防腐蝕。

                先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染

                防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

                經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降低。

                軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

                動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

                應用

                半導體制程

                真空蒸餾

                真空包裝

                鋼脫氣

                薄膜覆層

                真空冶金

                低密度風洞

                空間模擬

                真空浸漬

                油干燥和脫氣

                制藥冷凍干燥

                CO2 激光

                技術規格

                型號
                EH250
                EH500
                EH1200
                EH2600
                EH4200
                抽氣量m3/h
                50Hz
                310
                505
                1195
                2590
                4140
                60Hz
                375
                605
                1435
                3110
                4985
                前級泵有效泵速m3/h
                E2M40
                240
                350
                840


                E2M80
                274
                400
                840


                E2M175

                440
                930
                1750

                E2M275

                460
                1020
                1900
                3100
                泵上的壓差mbar
                50Hz
                0-180
                0-110
                0-90
                0-120
                0-70
                60Hz
                0-150
                0-90
                0-75
                0-67
                0-50
                進出口法蘭
                ISO63/ISO40
                ISO100/ISO63
                ISO160/ISO100
                ISO160/ISO100
                ISO250/ISO100
                轉速rpm
                50Hz

                0-2900

                60Hz

                0-3500

                額定連續進口壓力

                0-1000mbar

                最大出口壓力

                1000mbar

                建議支持泵
                GV80,
                E2M40,
                E2M80
                GV80, E2M80
                GXS160,
                GXS250,
                E2M80,
                E2M175
                GXS250,
                GXS450,
                E2M175,
                E2M275
                GXS450,
                E2M275
                電源電壓,3-ph

                220-240V / 380-415V

                電機功率Kw
                碳氫油

                2.2

                3

                11

                PFPE
                ATEX
                防爆電機

                3

                4

                15

                溫度℃
                工作溫度

                5至40

                環境存儲溫度

                -10至80

                濕度

                90%RH

                冷卻方式

                空冷

                水冷

                建議用油
                標準

                Ultragrade 20

                PFPE

                Fomblin YVAC 16/6

                油量L
                齒輪箱


                1.25

                3.5

                耦合面

                1.5

                2.4

                6.5

                軸封油層

                0.125

                1.5

                重量Kg

                69

                106

                149

                345

                481

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