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                干式真空泵

                Osaka干式螺桿真空泵,完全無油運作,適用于大多數潔凈制程;體積小以及操作簡單。

                特點

                排氣速度:50L?min、230L?min、500L?min 3種產品

                極限壓力:DSP50:20Pa、DSP250 ? 500:0.5Pa

                潔凈排氣:沒有油蒸氣,粒子的逆流

                無潤滑油:無同步齒輪,也不需要潤滑油

                攜帶方便:小型,輕量,抗外部干擾

                空冷規格

                初期排氣時間短,大氣壓附近排氣速度快

                低消費電力設計

                應用

                SEM,光刻

                醫療設備

                裝載室,搬送室排氣

                分析儀器

                加速器,離子源,電子槍的排氣

                一般產業

                PVD或R&D

                技術規格

                型號DSP50DSP250DSP500
                排氣速度(L/min)最大50230500
                氣鎮開啟36200430
                極限壓力(Pa)通常200.5
                氣鎮開啟時2002
                法蘭連接進氣口KF16KF25KF40
                排氣口RC1KF25
                電源電壓(V)100-240100-230
                頻率(Hz)50/60
                相數單相
                容許電壓精度±10%
                功率(W)極限壓力時230240270
                最大380600
                冷卻方式空冷
                重量(Kg)91520
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