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                真空測量計

                前級真空

                絕對壓力

                泵抽真空檢測

                UHV測量

                管道壓力監測

                寬壓力量程測量


                真空泵

                油旋片泵

                無油渦旋泵

                螺桿真空泵

                渦輪分子泵

                磁懸浮分子泵

                泵組(排氣臺)


                氣體流量控制

                MFM

                MFC

                3000L/min質量流量控制器

                2mL/min質量流量控制器

                多種氣體混合

                加熱型氣體流量控制器


                薄膜沉積

                膜厚儀

                晶振片

                探頭潰入裝置

                濺射探頭

                6晶振片旋轉探頭

                多通道薄膜沉積監控


                殘余氣體分析

                RGA

                真空本底分析

                真空質量監測

                工藝過程監控

                氣體混合檢測

                腔體泄露檢查




                真空檢漏

                氦質譜檢漏

                鹵素檢漏

                真空腔體漏點檢測

                管道泄露檢查

                壓力容器泄露檢查

                SEMI檢漏應用


                閥門

                真空閥門

                擺閥、閘閥

                真空角閥

                排氣節流閥

                氣體管路閥門

                隔膜閥


                鍍膜耗材

                蒸鍍材料

                靶材

                蒸發舟

                鎢舟

                高純度材料

                耐火坩堝


                測試設備

                高低溫循環沖擊系統

                老化測試

                測試設備配件




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